世界上早期生產(chǎn)制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）的國(guó)家是德國(guó)和法國(guó)。

1901年，德國(guó)林德公司在慕尼黑建立低溫設(shè)備制造車間，1903年生產(chǎn)出一臺(tái)10m3/h制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）。

1902年，法國(guó)在巴黎成立了空氣液化公司。繼德國(guó)之后，它于1910年開始生產(chǎn)氧氣發(fā)生器。

20世紀(jì)30年代以前，基本上只有德國(guó)和法國(guó)能生產(chǎn)制氧機(jī)。當(dāng)時(shí)的制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）只能滿足化工所需的焊接切割制氧制氮設(shè)備的需要。制氧機(jī)生產(chǎn)以中小型為主，產(chǎn)能2m3/h~600m3/h，品種約200個(gè)。采用的制氧機(jī)工藝為高壓和中壓工藝。

從1930年到1950年，除了德國(guó)和法國(guó)，其他國(guó)家如蘇聯(lián)、日本、美國(guó)和英國(guó)也開始生產(chǎn)制氧機(jī)。這一時(shí)期，隨著生產(chǎn)的發(fā)展，制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，推動(dòng)了大型制氧機(jī)的發(fā)展。由于大型制氧機(jī)生產(chǎn)1m3氧氣所需的電力和金屬材料高于中小型制氧機(jī)，1930年至1950年，大型制氧機(jī)的品種增加較多，如西德5000 m3/h，蘇聯(lián)3600 m3/h，日本3000 m3/h。當(dāng)時(shí)使用的工藝，除了高、中壓外，開始采用高、低壓工藝。由于大型制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）可以生產(chǎn)廉價(jià)的氧氣，因此在冶金和合成氨工業(yè)中得到了應(yīng)用。1932年，德國(guó)頭次在冶金和合成氨工業(yè)中使用制氧機(jī)。

1950年以后，除了上述國(guó)家生產(chǎn)的制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)），還有中國(guó)、捷克、東德、匈牙利、意大利等(中國(guó)發(fā)展較晚，都是深冷)。

由于鋼鐵工業(yè)、氮肥工業(yè)和火箭技術(shù)的發(fā)展，氧氣和氮?dú)獾南牧垦杆僭黾?，推?dòng)了制氧機(jī)的大規(guī)模發(fā)展。自1957年以來，10000m3/h制氧機(jī)相繼問世。1967年以來，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，2萬立方米/小時(shí)以上的大型制氧機(jī)已有87臺(tái)，較大機(jī)組為5萬立方米/小時(shí)，更大機(jī)組正在研制中。

20年來，產(chǎn)品種類迅速增加，逐漸形成系列。比如西德林德公司的大型制氧機(jī)有1000~40000m3/h的典型產(chǎn)品；日本kobelco有OF系列；日本日立制造所有TO型號(hào)；日本氧氣公司有NR型；英國(guó)有50~1500噸/天系列產(chǎn)品。同時(shí)，大型制氧機(jī)基本采用全低壓工藝。

總之，制氧機(jī)（變壓吸附制氧機(jī)）的發(fā)展是一個(gè)不完善的過程，設(shè)備從小型、中型發(fā)展到大型。該工藝從高壓(200個(gè)大氣壓)、中壓(50個(gè)大氣壓)和高低壓發(fā)展到全低壓(6個(gè)大氣壓)，從而降低了制氧機(jī)的單位功耗和金屬材料消耗，延長(zhǎng)了運(yùn)行周期。